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恒歌使用點(diǎn)專用氣體過濾器

簡要描述:用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng),兼容C型和W型多種密封規(guī)格,實(shí)現(xiàn)0.003μm級(jí)高效顆粒過濾,保障9-LRV清潔度。支持高達(dá)100slpm的大流量,適助力設(shè)備升級(jí)無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造,堅(jiān)固耐用,緊湊體型融合全焊接與機(jī)械密封技術(shù)。采用符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的表面安裝元件,便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計(jì)升級(jí)

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-11-11
  • 訪  問  量:114

詳細(xì)介紹


用于半導(dǎo)體應(yīng)用的高純半導(dǎo)體使用點(diǎn)專用氣體過濾器

產(chǎn)品介紹

用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng),兼容C型和W型多種密封規(guī)格,實(shí)現(xiàn)0.003μm級(jí)高效顆粒過濾,保障9-LRV清潔度。支持高達(dá)100slpm的大流量,適助力設(shè)備升級(jí)無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造,堅(jiān)固耐用,緊湊體型融合全焊接與機(jī)械密封技術(shù)。采用符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的表面安裝元件,便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計(jì)升級(jí),安裝維護(hù)便捷高效


產(chǎn)品特點(diǎn)

?不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì),可快速排氣

?整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

?減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流

?適用于多種工藝氣體

?潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝

?100%完整性測(cè)試通過

?100%氦氣泄露檢測(cè)通過

?耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

?防止微?;烊耄瑤椭岣弋a(chǎn)品合格率

?可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計(jì)













恒歌使用點(diǎn)專用氣體過濾器
















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