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大流量氣體過濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì)，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損，過濾精度高達(dá)0.003μm，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案

墊圈式設(shè)計(jì)確保易于安裝，使其成為 MFC（質(zhì)量流量控制器）模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護(hù)屏障。 多孔金屬限流過濾器能夠承受高達(dá) 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護(hù)敏感氣體成分。

工藝氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆?；蛘叽灯鸸杵？啥ㄖ苹O(shè)計(jì)，靈活適應(yīng)各類安裝空間。

工藝氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆?；蛘叽灯鸸杵??？啥ㄖ苹O(shè)計(jì)，靈活適應(yīng)各類安裝空間。

工藝氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設(shè)計(jì)，靈活適應(yīng)各類安裝空間。

工藝氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003μm。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，對工藝室環(huán)境造成影響，有效防止氣流吹起顆?；蛘叽灯鸸杵？啥ㄖ苹O(shè)計(jì)，靈活適應(yīng)各類安裝空間。